二手 ASML PAS 5500 / 100C #293817877 待售

ASML PAS 5500/100C是一种晶圆步进器或光刻机，设计用于生产半导体芯片。它的特性和功能使其成为满足各种高级处理和制造需求的理想解决方桉。ASML PAS5500/100 C是一种步进扫描设备,它为曝光和对准提供了卓越的精度和准确性,使高复杂性产品能够快速生产并具有高度的可重复性。该系统配备了一个定制设计的镜头，可以达到每秒三米的速度，能够对焦到12纳米的分辨率。此外，该装置还能接触剂量高达40毫焦耳，最大场径300毫米。PAS 5500/100C可以在单模块模式下操作，也可以作为全自动机器操作。单模块模式允许对整个过程进行精确控制，并赋予用户在必要时快速进行修改和调整的能力。自动化工具可以编程为根据所需产品的设计运行单一曝光或多次曝光。PAS5500/100 C配备了多通道视觉资产和独特的双龙门结构,能够进行图像识别和数字对齐。这样可以确保模型能够准确对齐要生产的产品的每一层,从而实现高度的可重复性和快速、可靠的批处理。为了利用ASML PAS 5500/100 C的功能,可以为设备配置一系列选项,包括ASML FTH前端工具,该工具提供ASML PAS5500/100 C与后端工具之间的接口,以及用于数据分析、监视和控制的高级软件包。PAS 5500/100 C是一个高度复杂的系统,旨在提供精确可靠的生产结果。凭借其先进的功能和定制设计的镜头，它非常适合一系列先进的半导体制造需求。