二手 ASML PAS 5500 / 100C #293822312 待售

ASML PAS 5500 / 100C
ID: 293822312
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
Stepper, 6" Air control unit TCU controller TCU power supply Stainless steel reticle cassette rack Control computer Calibration wafer TEAL 3/78U400 power conditioner 1995 vintage.
ASML PAS 5500/100C是一种晶圆步进机,能够进行高精度的光刻和成像过程。是为生产半导体、光电器件和其他成像材料而设计的一种步进重复模式制造设备。该系统使用一个非常精确的级在一组固定的透镜元件下移动晶片,这些透镜元件将图样投射到晶片上。模式通常由计算机程序定义。ASML PAS5500/100C是具有高级光学单元的晶圆步进器。它结合了两个高数值光圈镜头,共八个镜头。第一个透镜充当场透镜,而其他七个透镜充当成像透镜。成像目标由七个DLAP(衍射激光高级模式)非球面透镜组成,使机器能够实现卓越的精确度和最小1微米的光斑尺寸。PAS 5500/100C具有计算机数值控制(CNC)功能,使机器能够在晶圆表面上精确地重复模式。该工具还具有两个电动级,允许在x、y和z轴上移动。数控系统配备了多轴运动控制器和高精度反馈控制资产,以提高精度和重复性。PAS5500/100 C带有一个预定义的模式库,可以快速方便地处理各种材料。它还具有图像处理软件,允许根据用户提供的数据对图像进行完整的自定义。该软件还使模型能够存储和召回以前的作业,从而提供更快的订单处理。ASML PAS 5500/100 C能够产生大小从一微米到超过750微米的模式。其高分辨率功能提供了尽可能高的长宽比,可实现精确和精确的成像。该设备的专有对准软件进一步提高了其准确性。此软件会自动将标线对准晶片,以实现最高的效率。ASML PAS5500/100 C是一种先进的成像系统,可提供最大精度和最高质量的成像潜力。它是一个紧凑可靠的单元,提供快速、经济高效的生产。该机具有很高的可扩展性,非常适合大批量生产和广泛的应用。该机还提供了最高的分辨率和精度,非常适合最具挑战性的应用。
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