二手 ASML PAS 5500 / 100D #293656526 待售

ASML PAS 5500/ 100D是一种高精度、高分辨率的晶圆步进器，能够生产先进的微电子器件。它代表了最先进的纳米技术工具，因为它可以为极端环境制造极小的零件。ASML PAS 5500/100D建立在一个强大可靠的运动学和定位平台上，能够实现其卓越的性能。利用4kW光源,其光学设备最大限度地提高了分辨率、精度和吞吐量。PAS 5500/100 D具有四个运动轴,使机器能够以极高的精度扫描、聚焦和对齐。其电动运动系统通过对准多个电池板来确保精度，这些电池板的轴线都是一致旋转的。电动定位器还提供了广泛的计量特征，其光学单元进行衍射和像差校正，以及像差消除。PAS 5500/ 100D有助于生产难以置信的小型芯片,例如微处理器和其他集成电路。它的分辨率超过了0.5微米-降至0.1微米-使其能够生产最精细的先进集成电路。在"寄存器"模式下,机器可确保晶圆配准在几微米内准确。PAS 5500/100D能够在一次曝光中产生多个光掩码，使过程更加高效。它还包括一个在轨道上的光学机器，减少了重新定位机器所需的时间，允许它在每次移动时返回到相同的像素大小。此外,此工具旨在减少热量产生并促进高效冷却。ASML PAS 5500/100 D具有监控参数以确保完美运行的自我诊断资产。该模型包括一个智能传感器网络，旨在向机器提供度量，以实时评估晶圆步进器的性能。它还具有完全自动化功能,允许用户自定义计算机以匹配其工作流。除了出色的性能外,ASML PAS 5500/ 100D还提供维护支持,使其非常可靠、安全且易于使用。该工具具有尺寸精度和可重复性,即使在极端条件下也能提供精度和可靠性。其先进技术的结合使得它非常适合复杂的纳米技术应用。