二手 ASML PAS 5500 / 100D #9045382 待售
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已售出
ID: 9045382
i-Line stepper
Temperature control unit (TCU)
SUN computer system
Under OEM Service contract
Missing and known defective parts:
(2) Wafer Handling Elevator
(2) Elevator cover
P-Unit Actuator
Edge Sensor
Air Control Unit
REMA Unit
Illumination House exhaust hose
Wafer Stage Motion Control Rack Fan Unit, and Power Amps
Reticle Table has a small chip on the front left pad
Currently installed
1996 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D是一种高度先进的晶圆步进生产设备。这台精密的机器被用于在微芯片晶片表面蚀刻错综复杂的图桉。它使用极其精确的镜像光学设备将光束传播到基板上蚀刻图桉。该装置由于其一致的精确度和生产率，被认为是生产设施的"主力军"。ASML PAS 5500/100D的核心是它的扫描仪，它包含一个弧形镜子，里面装有四个弧形镜子。这些反射镜被称为"多面反射镜"，允许光学系统从单个点源扫描复杂的图样。光学单元可以水平和垂直扫描，可以以375mm/sec的速度移动。光学机器也是温度控制，确保精确和精确的模式复制。PAS 5500/100 D设计为与自己的软件交互，允许用户以三种方式控制机器。第一种是实时模式，操作员可以选择并设置一般变量和特定变量，如曝光时间、能量和模式复杂度。第二种是允许用户一次处理多个晶片的"批量"模式，第三种是允许用户同时处理多个作业的"批量"模式。PAS 5500/100D具有一个在线计量工具，它允许用户检查其蚀刻模式的准确性。此资产使用与蚀刻过程相同的光学模型对材料上的图样进行成像,并确定发现时的任何差异。PAS 5500/ 100D的其他功能还包括真空晶片处理系统、LED源、高压电源和高密度磁带自动粘合设备,这些设备使现代晶片的生产具有极细的线条和较小的特性。综上所述，ASML PAS 5500/100 D是一台极为先进、精密的晶片步进机，用于生产微芯片晶片。其精密、温度调节的光学设备使它能够以极高的精确度从单个点扫描复杂的图样。它还利用多种在线计量系统，对蚀刻图桉和真空晶片处理系统的精度进行了双重检查，以提高效率。ASML PAS 5500/ 100D具有可靠可靠的设计,是任何晶圆生产设施中的宝贵工具。
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