二手 ASML PAS 5500 / 100D #9075820 待售
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已售出
ID: 9075820
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Stepper, 8"
HDD
Intensity data: 245 mW/cm2
Uniformity: 2.71% (2014.2.27)
Dose accuracy: 0.37 %
Repeatability: 0.37 % (2014.2.27)
Single machine overlay:
X: 21 nm
Y: 23 nm (2005.12.23)
Wafer stage accuracy:
X: 5 nm
Y: 10 nm (2005.12.23)
Wafer stage repeatability:
X: 4 nm
Y: 8 nm (2005.12.23)
1996 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D是为半导体、光子学和微电子学制造而设计的最先进的步骤和重复晶圆步进器。这种设备拥有直径8英寸的晶圆的有效投篮面积，即使是最小的电子元件也能得到一致的生产。ASML PAS 5500/100D采用了0.6和0.75微米的高级升级,实现了业界领先的分辨率和5倍的覆盖误差。这种可靠的步进器具有最先进的精密运动元件,包括独特的底部密封闭环体系结构,可帮助确保准确性和可重复性。PAS 5500/100 D还包括由数字惯性（DI）传感器、倾斜校正速度传感器（TCV）和XY速度传感器组成的专有传感器组件,以便对其过程进行精确和自动化的控制。ASML PAS 5500/100 D使用先进的氦硼（HeNe）激光系统。它允许完全自动化的晶片对图样进行标线以及精确的图样曝光。HeNe激光单元高效且适应每个用户的需求，允许用户将激光曝光剂量、扫描速度、激光强度和扫描面积调整到所需的规格。本机还包括软件升级，以进一步提升用户体验。图像处理算法精确定义配准标记，准确定位独特特征，精度空前。该软件还配备了功能强大的自动化工具，旨在改善循环时间和防止涂层错误。获得专利的AX+系列步进器结合了PAS 5500/ 100D,采用了先进的迭加和图像失真校正机制。这项专利技术确保了晶片的暴露是一致和准确的。PAS 5500/100D是半导体、光子学、微电子工业大批量生产的完美步进器。凭借其HeNe激光工具、获得专利的技术和强大的软件，这项资产产生了无与伦比的准确性和可重复性。
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