二手 ASML PAS 5500 / 100D #9202567 待售
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ID: 9202567
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
i-Line stepper, 8"
Process: Front end & back end
CPU Type: SPARC5
CM options:
Lens number: 7556500A
Lens type: 75
Field diameter: 31.1
ARMS/RMS: RMS
Chuck type: Zerodur
Athena: No
Parameter
Illumination:
22.0X22.0 mm (%): <2
Intensity: >900 (mw/cm²)
Lens distortion:
Red blue NCE (nm): 0.0001<X<78
Magnification (ppm): -3< x <3
Reticle table tilt Rx (µrad): -10<X<10
Reticle table tilt Ry (µrad): -10<X<10
Reticle table height (µm): -10<X<10
Focal:
Image tilt Rx (µrad): -5<X<5
image tilt Ry (µrad): -5<X<5
Focus height (µm): -0.8<X<-0.6
Overlay:
Machine overlay to /100C or /100D: X<120
Reference machine (nm): Y<120
FPD (µm): 0.40
AST (µm): 0.407
CIM Linked
1996 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D是专门为多种工业用途设计的晶圆步进器，包括生产微电子器件。该设备在生产过程中提供了更高的精确度和精确度,从而提高了过程的自动化程度。该装置采用耐用的高级钢制车身，完成后可在生产过程中提供卓越的性能。此外,它还配备了提供卓越性能的各种机械和电子功能。这包括用于控制光束、激光、马达和其他组件的扫描仪；集成的对准控制设备；晶圆位置；以及用于交换盒式磁带的提升装置。ASML PAS 5500/100D包括三个主要组件：激光、扫描仪和投影光学.激光模块负责产生街道形成，用于在晶片上执行必要的阵列。使用扫描仪移动激光束以创建所需的街道图样，并使用投影光学器件优化投影图像的质量。为了确保精确的图桉，激光模块构建具有高分辨率和动态范围，而扫描仪是为了提供出色的对比度和创造复杂的图桉。此外，该设备还配备了一个专利自动裂纹系统，使机器能够根据晶圆图样自动调节激光束。这允许更快、更准确的生产时间,从而提高过程的自动化程度。此外，PAS 5500/100 D的设计通过一个精密的步进校准单元来提供更高的尺寸精度。本机在曝光序列中监视和调整曝光剂量和迭加精度的累积，并提供精确的控制水平。此外,它还配备了先进的标线更换工具和巧妙的托盘定位资产,从而消除了晶圆定位方面的任何缺陷,并将停机时间保持在最低限度。总体而言，PAS 5500/100D是一种高精度晶圆步进器，专门为各种工业用途而设计和建造。它提供了多种功能,使其在阵列设计和曝光方面非常高效,而且它包含了复杂的自动机架模型,使其比以往任何时候都更快、更准确。
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