二手 ASML PAS 5500 / 100D #9203101 待售

ASML PAS 5500/ 100D是由先进半导体制造公司ASML开发的世界领先的晶圆步进器。它是一种紧凑的、带有空气的精密定位设备，用于将图样精确传输到称为晶圆的圆形板上。ASML PAS 5500/100D由三个主要组件组成：主结构、lambda轴和模式生成器。主体结构由一个由精密电机驱动的X-Y级组成，在所有三个运动轴上实现纳米级的稳定性。Lambda-axis is a rotary stage that is abable to rotating the wafer and approve a array of different formats as round, rectangular, and square upplacement in the application.模式发生器包括高性能激光元件，当暴露于透射激光时在晶圆上产生模式。模式发生器还包括一个先进的光学系统，以提供所需的分辨率低至300 nm。PAS 5500/100 D还具有强大的闭环运动控制单元,可实现高精度对准和定位。该控制机器利用编码器、反馈工具以及视觉/图像处理资产和激光干涉测量等各种接口元件进行精确的晶圆传输。该机的设计还采用了空气轴承模型来最小化振动，确保平台稳定。ASML PAS 5500/100 D还配备了先进的环境控制设备。该系统允许精确的温度和湿度控制，以维持晶圆参数，避免热或湿度造成任何损害。整个单元被封闭在防尘容器中，以确保无尘环境。最后,PAS 5500/100D还具有易于操作的用户友好界面。这包括一个交互式图形用户界面（GUI）,允许用户自定义适合其特定应用程序的设置和参数。该机器还具有诊断软件，可用于分析机器操作和检测任何错误或故障。总之,PAS 5500/ 100D是一种可靠、精密的晶圆步进器,旨在满足当今半导体制造业最严格的要求。它提供高效、精确的晶片阵列,具有高吞吐量和广泛的功能,包括强大的运动控制机、先进的光学工具、精确的环境控制资产和用户友好的界面。