二手 ASML PAS 5500 / 1100 #293655010 待售

ASML PAS 5500/1100是一种用于半导体器件制造的运动控制和计量工具。它是一个生产级的步进扫描工具，配备了一个基板-每个过程步进和重复光刻系统。PAS 5500/1100使用能量输出为135W的石英卤素灯在晶圆上打印。该灯在紫外线（UV）范围内工作，提供最佳光刻能力。晶片采用线性电动机扫描，精度极高，在基板上提供精确一致的印刷图桉。为了确保打印图样符合设计，PAS 5500/1100还配备了激光干涉仪，测量打印图样与既定标准的偏差。PAS 5500/1100还提供了专门的对齐功能,使其能够在不同晶圆类型的范围内精确对齐模式。这是通过对比度成像、聚焦衰减和侧壁角度确定相结合而实现的。通过使用对齐标记进一步增强了模式重迭，对齐标记作为测量和对齐的基准参考点。强度测量、对比度成像和基准都在对准过程中连续检查。PAS 5500/1100具有超快的吞吐量,为高级流程控制提供了理想的平台。系统可以在流程步骤完成之前很长时间检测流程变化并输出警告信号。这允许工程师在生产任何不合格的晶片之前采取纠正措施。最后,PAS 5500/1100的设计考虑到了较低的总拥有成本。这是通过它能够减少过程步骤之间的开销时间，减少维护操作次数，以及通过晶圆步进器优化基板传输时间来实现的。PAS 5500/1100结合其紧凑的尺寸、高精度和不间断的操作，是大容量半导体器件生产的理想解决方桉。