二手 ASML PAS 5500 / 1100 #293668650 待售

ASML PAS 5500/1100是一种晶圆步进器设备，用于晶圆上集成电路的制造。步进系统由对准显微镜、投影光学器件和高级步进模块（ASM）组成。对准显微镜是一种专门的光学显微镜，具有精确对准光掩模和晶圆的高分辨率能力。投影光学器件提供高分辨率的光掩模成像到晶片允许非常精确的对准特征的光刻过程。ASM负责精细控制同时保持光掩模和晶圆的级的运动，以便在晶圆上创建所需的模式。ASML PAS 5500/1100设计允许灵活布局多达12个不同的工艺模块,ASM、显微镜和投影光学模块之间共享。步进单元可以在步进和扫描操作中操作,在扫描模式下,机器利用双列配置来分离扫描和对准功能。该工具有一个XY级，允许步进头移动，精确定位光掩模和晶圆相对于彼此。ASM为XY平面中高度精确的运动和焦点调整提供闭环控制，以满足各种晶片的光刻要求。资产设计为每个模块都有一个独立的闭环控制，从而允许在生产过程中对每个模块进行高度精确的设置和最大限度的稳定。步进器的视野很大，可以支持晶圆上的大量模式，晶圆级设计为低kV且无振动，以支持先进的工艺。PAS 5500/1100提供出色的性能、准确性和可靠性。该模型具有可编程的步长,在X和Y范围内可提高到6,000 μ m,并提供+/-1.5 μ m的曝光精度。它还提供高质量的成像,具有39nm的分辨率、高效的操作和更好的循环时间。除了这些功能外，晶片步进器设备还具有强大的集成传感器网络，包括温度、相对湿度和振动传感器，以及各种摄像头系统，可帮助监测环境并保持最佳循环温度和湿度。在平版印刷过程中,系统会随时进行监控,从而实现连续的工艺优化。最后,PAS 5500/1100为工程师提供了高级自动化和控制工具,以优化其流程并达到最高质量标准。