二手 ASML PAS 5500 / 20 #293817873 待售

ASML PAS 5500/20晶片步进器是半导体制造的宝贵工具，提供高质量的光刻工艺，以其先进的光学设计和成像分辨率而与众不同。这种步进器设计有一个大的20英寸的隔膜场，能够生产和检查曝光面积从0.5毫米²到200毫米²的结构。这种步进器的仪器分辨率为2500 x 2500 Half Pitch Line/Space （HPL/S），对准精度为0.2微米（µm），总成像范围可延伸至250 mm x 200 mm。PAS 5500/20采用白炽灯和高对比度投影光学器件的5倍还原和光刻系统设计，提供了一个4毫米晶圆的整体减小，承载到5倍，产生0.8毫米的图像场大小。可以在步进器中添加多种选项,包括定制的镜头、光谱滤镜和自动化软件。为了提高步进器的精度,并提高每个图案针脚的精度,它采用溷合和匹配技术设计,允许独立调整不同的针脚。ASML PAS 5500/20还有一个先进的照明系统，旨在提供均匀的照明，同时允许每小时100晶圆的平均吞吐量速度。它还具有内置的对齐特性，使晶片与结构的对齐更加容易和快速，从而提高了精度。步进器还具有现场测量能力，能够近乎瞬时地表征晶片，快速识别任何异常或液滴尺度故障。紧凑的设计允许在半导体清洁室方便安装，高度只有138厘米，总宽度和长度分别约为92厘米x 101厘米。PAS 5500/20具有高效的冷却系统、较低的维护要求和较低的环境影响,是在半导体行业中执行关键光刻工艺的理想工具。