二手 ASML PAS 5500 / 200 #293817870 待售

ASML PAS 5500/200是荷兰的荷兰技术公司ASML制造的顶级晶圆步进器。它主要由半导体和集成电路制造商在光刻过程中使用，在光刻过程中，将光模式投射到硅片等基板上，以便重现到纳米级的精确图案。步进器可以在不到七秒钟的时间内将电气元件排列、曝光和检查到晶片上。其系统精度为0.4微米，工作孔径为0.7。该机具有254至365nm的明亮、可调的光源光谱，0.1至2500 mj/cm2的可选剂量，以及0.2至500 ms的曝光次数。ASML PAS 5500/200具有两个外部振动阻尼器，使其适合复杂的光学设备，以及快速的标线和晶圆级，从而产生其他更快、更精确的过程。它能够处理200毫米大小的晶片。PAS5500/200配备了自动化控制系统,旨在减少操作员时间并改善工作流结果。该系统能够自动校正图像失真和其他错误，允许使用2微米的单层对准精度和1微米的多层对准精度，以及-10至50摄氏度的温度控制。从操作角度来看，步进器非常方便用户，需要最少的技术知识才能正确操作它。它配备了触摸屏图形用户界面、计算机化的作业设置参数以及广泛的诊断数据，可以很容易地访问。总体而言,ASML PAS5500/200是一种备受推崇且可靠的晶圆步进器,它为半导体和集成电路制造商提供安全、准确且经济高效的光刻解决方桉。该机用户友好的界面、令人印象深刻的精确度和出色的运动控制能力，确保它在未来几年内仍将是此类企业生产线内必不可少的设备。