二手 ASML PAS 5500 / 200 #9232850 待售

ASML PAS 5500/200是半导体制造业中用于光刻图样的晶圆步进器。此工具旨在帮助在半导体中创建模式,使制造商能够创建具有侵略性的线宽0.10微米或更小的晶体管、内存和微处理器。步进器由四个主要组件组成：加速单元、控制单元、光学单元和移动平台单元。加速度单元控制晶圆的坐标，控制单元运行与光刻图样关联的程序，光学单元负责将图样成像到晶圆上，移动平台单元负责在X和Y方向移动晶圆。所有四个单元连接在一起，每个单元都有若干传感器和执行器负责反馈信息。ASML PAS 5500/200的光学设备有独特的镜头和镜子组合，设计成在晶圆表面上成像。在A4（高级对齐模式）系统的帮助下,样品支架在曝光期间将晶片固定到位。这四个元件结合在一起，可以保证精度和速度达到微米的一小部分。真空柱构成了真空室的延伸部分，它创造了一个低压环境，在其中容纳晶片，确保了出色的放置、高质量的成像和更大的模式保真度。步进器具有6英寸的可编程晶片尺寸，非常适合较小规模的集成电路生产，以及5秒的最大曝光时间。它的检测速度明显快于竞争对手的型号,PAS 5500也能够产生更准确的结果。此外,步进器还配备了反向移动焦点轮廓算法,可根据矢量变化对PAS 5500的行为进行精确建模,从而在集成和曝光阶段提供更好的聚焦控制和增强稳定性。PAS5500/200带有一个集成的晶片定心和跟踪单元,确保晶片精确定位在机器焦点上方。这样就可以处理任何大小的晶片,即使是那些尺寸不标准且可能难以设计的晶片。此外，PAS 5500/200具有先进的配方模式，能够在微细加工工艺和高端光刻中实现精密图样。总体而言,PAS 5500/200是一种高度精确的晶圆步进器,旨在提高产量、提高吞吐量和缩短生产时间。它使用先进的技术和组件,使其成为寻求可靠、准确和高性能光刻技术的制造商的理想选择。