二手 ASML PAS 5500 / 200B #293804503 待售

ASML PAS 5500/ 200B是晶圆步进器的一种，也称为步进轨迹光刻设备。它用于光刻设施，为半导体工业的集成电路创建电路。系统通过光线和遮罩的组合来实现这一点，这些遮罩将图样放置在晶圆的表面上。PAS 5500/ 200B的步进器总尺寸为2米乘1.5米，能够步进直径达200毫米的晶片，同时在x和y方向上达到1.2 μ m的配准精度。它采用高分辨率、宽带照明，光子能量范围从246到1064 nm，光学变焦范围为16 x。该单元可提供0.45至1.35的各种数值孔径。利用此范围,它可以创建各种特征大小和过度扫描功能,精度范围分别为150 nm至30 μ m,焦点深度范围分别为8 μ m至28 μ m。ASML PAS 5500/ 200B利用3轴闭环控制机器同步列并允许高分辨率模式打印。它的两个速度机动化轴由精密球螺丝驱动，能够以快速可靠的方式提供高定位精度。该工具具有高分辨率、位置反馈资产和闭环、湿度控制功能。该模型能够进行积极的迭加控制和快速的吞吐量,从而加快了批量生产周期。其内置的SoftRecipe软件提供了用户友好、直观的用户界面，便于操作和维护。此外,它还提供图形特征以及高级统计和基于几何的分析功能。最后,PAS 5500/ 200B包含了一个全面的标准安全协议,可帮助将与安全相关的事件的风险降至最低。它的每一个部件都是按照业界最高的安全标准设计和测试的,具有最先进的安全联锁,并与最新的安全控制机制配合使用。ASML PAS 5500/ 200B具有先进的安全特性，是一种可靠高效的晶圆步进轨迹光刻设备。