二手 ASML PAS 5500 / 250 #293817869 待售

ASML PAS 5500/250是由荷兰的Advanced Semiconductor Materials Litechnology（ASML）建造的全场步进重复光刻扫描仪。用于生产半导体集成电路等微电子器件。步进器由隔离结构、持久且高精度的光学组件和计算机控制设备组成。隔离结构将振动与环境隔离开来，从而确保光学器件从掩模到晶圆的对准和位置保持准确。光学组件包含一个机器人晶片和掩模处理模块，3个带进动编码器的镜子，几个镜头，两个用于光束偏转的检流计扫描仪，以及两个数字图像拉伸单元。组合光学系统，最小镜头接受角为5度，对于IC图样和迭加功能，分辨率为0.25微米。控制单元设计用于控制、监控和记录步进函数。它由一个图形用户界面（GUI）和颜色编码的边框组成，用来表示处理状态，一个高级功能菜单和颜色编码的键盘。机器还配备了自动距离控制（ADC）工具，利用图像识别算法根据需要调整掩模和晶圆之间的距离。ASML PAS 5500/250步进器能够处理尺寸达8英寸（200毫米）的基板，吞吐量高达每小时395晶圆。它还提供各种选项,可以提高工艺性能和吞吐量,包括内置涂层/显影剂、负载锁室和晶圆清洗/测量设施。综上所述，PAS 5500/250是一款全场步进重复光刻扫描仪，用于生产集成电路等微电子器件。它具有隔离结构、高精度光学组件和计算机控制资产,以确保所需的阵列和对齐过程的准确性。步进器还能处理尺寸达8英寸的基板，吞吐量高达每小时395晶圆。