二手 ASML PAS 5500 / 250 #9166553 待售
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已售出
ID: 9166553
晶圆大小: 8"
i-Line stepper, 8"
ARMS Option
Image field size:
X: 22.0 mm
Y: 22.0 mm
Diameter: 31.1 mm
Steps:
X: 11
Y: 11
Measurement type: Sample mode
Lamp power (W): 3150.0
Samples per position: 50
Apply REMA window: Yes
Load reticle: N
Illumination mode: Annular
Numerical aperture: 0.58
Sigma outer: 0.800
Inner: 0.450
Uniformity measurement result:
Uniformity (%): 1.79
Logfile: LI / LIUM / waf.941
(121) Measurements
Tilt:
X (% / field): 0.74
Y (% / field): -0.18
Overall average:
Ratio: 1.00
Standard deviation: 0.01
Intensities spot sensor (mW / cm2): 1706.65
Standard deviation: 12.48
Intensities energy sensor (mW / cm2): 1706.75
Standard deviation: 5.10
Lamp time lit (hour): 1866:42
Estimated uniformity from measured data (%):
If corrected:
Actual tilts: 1.78
Gradient filter: 1.54
Tilts and with gradientfilter: 1.26
Symmetric uniformity value (%): -0.52
Currently installed.
ASML PAS 5500/250是一种精密的晶圆步进器，设计用于半导体器件制造中的生产级光刻任务。它是一种下一代扫描（NGS）设备，每小时最多可以处理25个晶圆，分辨率为0.25微米。此晶片步进器提供同类产品中最高的吞吐量和分辨率。系统的核心是采用8通道多扫描仪配置的高级扫描镜头组件。此设置允许的吞吐量比其他步进器高得多,使其成为寻求最大生产速度的制造商的理想选择。透镜提供0.25微米的最小分辨率，这是先进半导体器件制造中许多光刻工艺所必需的。该单元还包含一个称为高级色散光学（ADO）的独特功能。这是一种利用多镜头和镜子组合的技术，以利于更好的图像分辨率。此技术有助于消除像差并提高分辨率,从而使步进器能够保持其高专业水平的准确性。此外，ASML PAS 5500/250具有一系列支持功能。例如，它有一个自动化的晶片装载机以及各种功能，以确保晶片的高度精确对准。它还具有一个集成的冷却工具,可最大程度地提高镜头和组件的效率和使用寿命。步进器还配备了简化操作和编程的综合GUI（图形用户界面）。这使得初学者很容易快速熟悉资产，让他们轻松地执行复杂的光刻任务。PAS 5500/250是一种功能强大且可靠的晶圆步进器，为制造商提供同类产品中最高的吞吐量和分辨率。其ADO技术和全面的支持功能使其成为高精度光刻应用的绝佳选择。
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