二手 ASML PAS 5500 / 250C #293811101 待售

ASML PAS 5500/ 250C是为高级半导体应用而设计的高度先进的专业级晶圆步进器。用于生产集成电路等相关微电子器件。该设备由若干部件组成，包括一台主机、一台除尘器、一台计算机控制单元、一个光学对准系统、晶圆处理设备以及马达和驱动器。大型机负责控制整个单元，而除笑器和晶片处理机器人则处理晶片传输。计算机控制单元负责向每个机器组件发送命令，并维护晶圆加载/卸载、刀具调整和校准的数据。光学对准资产用于精确、精确地测量晶片的位置，由一个电动对准级、两个激光干涉仪、一个用于测量失准的数字信号处理器（DSP）和一个监视器组成。晶片处理设备由电梯、XY平移级和卡带式升降机组成，所有这些都有助于将晶片精确定位到晶片级。电机和驱动器负责为对准电机、大型机组件和晶圆处理机器人提供精确的运动。该模型具有多种功能,例如具有21毫米晶圆移动能力的50毫米视场、7nm的放置精度和0.2 μ m的对准精度。此外，它的速度高达每分钟12个晶圆，能够容纳300毫米和200毫米晶圆大小。PAS 5500/ 250C能够在批量和连续生产环境中工作,与传统的晶片步进器相比具有许多优势,例如提高产量和效率、提高吞吐量和更可靠的操作。通过提供众多自动化和半自动化功能,它非常适合大批量生产,确保及时完成过程并获得最高质量的结果。