二手 ASML PAS 5500 / 250C #9265786 待售

ASML PAS 5500/ 250C是晶片步进器，一种半导体工业中用来在硅晶片上制造微观电子元件的工具。该设备的技术规格从最大场尺寸开始,最新版本提供250毫米直径的光场。此外,它的光学器件可以配置为同时支持截止扫描仪和步进重复光学器件,分辨率可降至0.3微米。PAS 5500/ 250C步进器包括一个或两个全浮动平面台阶以及一个7轴运动控制系统。平板台阶为模模加工提供了卓越的对准和定位精度，而运动控制单元则允许快速、精确的X、Y和Z运动。步进器的照明机兼具激光曝光工具和先进的i-Line光学元件。激光曝光资产可用于支持激光掩模和直接激光写入（DLW）技术，并具有13.56 MHz 25瓦ArF（原子氟）源和3轴运动控制模型。i-Line光学支持0.6和0.8微米的操作，能够在短时间内曝光大的晶圆尺寸，最大总基板尺寸可达8英寸。光学设备提供了在扫描模式和直线模式之间切换的选项,而无需对光学设备进行机械更改。ASML PAS 5500/ 250C还包括一个模块化选项结构,其中包含用于现场计量、接触对齐和预对齐模块的模块。该设备还具有基于Windows的平台,可用于所有安装、操作和维护活动。这允许用户使用直观的图形用户界面以及专用于二次自动化的集成工具。PAS 5500/ 250C是一个高级系统,旨在为半导体公司提供各种工业过程的精确阵列和成像功能。凭借其尖端的特点和能力，该单元能够为各种类型的电子设备创建极其精确的组件。