二手 ASML PAS 5500 / 275D #293817866 待售
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ID: 293817866
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.48-0.60
Resolution: 280 nm
DCO: 40
MMO: 80
Throughput (WPH): 120.
ASML PAS 5500/ 275D是用于光刻应用的现代晶圆步进器,可帮助制造半导体器件。它是一种高效的晶片步进器,能够将高精度的光刻图样写入晶片上。这种步进器使用先进的扫描技术,在一个模板中同步掩模支架、晶圆载体和光头。PAS 5500/ 275D是一种矢量扫描步进器,利用数字驱动系统、磁性轴承和先进的投影设备来实现标线架的高精度定位。它的四轴精密运动控制提供了掩模和晶片的精细对准,使其适合于精细迭加应用。该设备还具有可靠和坚固的晶圆处理系统。它有一个高效的照明单元,使用二维聚焦光学器件和一个二元瞳孔机来减少用于暴露晶片的能量。这也有助于保持低能耗,同时提供卓越的性能。步进器还有一个自动模式识别工具,帮助实现高吞吐量和产量的模式应用。ASML PAS 5500/ 275D具有先进的控制资产,可确保准确和可重复的暴露过程。它减少了设置生产运行所需的时间,从而提高了流程的性能和效率。最后,配备了板载通信接口,用于光刻操作的远程诊断和监控。总体而言,PAS 5500/ 275D是一种功能强大且高效的晶圆步进器,可帮助制造可靠且可重复的半导体器件。它具有坚固的结构,其先进的自动化、数字驱动系统和光学设备使其能够以最小的功耗实现高分辨率图像。此外,它的远程通信界面允许用户监控光刻操作,必要时调整参数。
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