二手 ASML PAS 5500 / 275D #9188744 待售

ASML PAS 5500/ 275D晶片步进器是一种双光束、计算机控制的投影光刻设备。用于生产半导体器件（如IC和MEMS）。步进器有两个光源，一个是248 nm波长的KrF准分子激光束，另一个是193 nm波长的ArF准分子光。光源允许使用最小特征尺寸为0.18 μ m的高分辨率光刻操作。PAS 5500有一个晶片级系统，将晶片定位在光束路径中，并旋转晶片使每个晶片与光束对齐。这个晶圆级单元能够在纳米和秒的数量级的速度和精度。此外，这台机器还设计用于在16摄氏度以下的温度下运行。该工具能够通过使用二维对齐资产实现亚微米精度。该型号采用三轴级和四个CCD相机，以确保晶片在曝光前的精确定位。ASML PAS 5500使用五轴双MST（机械级转换器）扫描头以更高效的方式对晶片进行制图。PAS 5500配备了先进的成像设备，能够对晶圆上的微结构进行高分辨率成像。这包括微观光学和多层光学成像系统，NA（数值孔径）高达0.5。该单元还设有一个专门的扫描软件套件，用于全晶圆处理和检查。这包括用于自动晶片定位的扫描工具、用于自动阵列对齐的步进工具和用于自动曝光的曝光工具。软件套件允许用户友好地控制流程，减少时间和人工干预。总体而言，PAS 5500/ 275D是一种工业级双束投影式步进器，专为半导体工业中的精密光刻应用而设计。其特点结合了先进的晶圆处理，允许生产吞吐量更快、产量更高的集成电路。