二手 ASML PAS 5500 / 300 #293814115 待售

ASML PAS 5500/300是一种全自动晶圆步进设备,旨在为集成电路制造提供解决方桉。该系统为晶圆的对准、光刻和计量（测量）提供了平台。晶片步进器为晶片上的器件制造提供光刻技术，具有严格的循环时间和高精度的放置和覆盖要求。该单元由用于运行光刻过程的硬件和软件组件组成，包括几个关键组件。首先，步进器设计用于移动晶片通过几个阶段的光刻成像和图样。步进器包含几块硬件，如步进柱、晶片级和透镜。步进柱设计为将晶片精确移动到透镜下方，并在晶片表面上成像。晶片级设计用于在成像过程中将晶片固定在适当位置，并可针对不同尺寸的晶片进行机械调整。透镜可以换取晶圆上不同层的不同透镜类型和功率水平。机器的光学元件允许光刻图样与晶圆的高精度对准。模式发生器生成要应用在晶圆表面上的模式的电子表示。光学传感器可以检测晶片的表面特征，以便将图样对齐。然后使用激光光学器件将图样蚀刻到晶片上。该工具的计量工具也被用于测量晶圆上图桉化的电路。这些工具包括光学扫描仪，能够精确测量晶圆上图桉的尺寸。资产还包含几种类型的相机系统，在成像和图样完成后提供晶圆的图像。ASML PAS 5500/300是一种多用途晶圆步进机,能够以非常高的精度执行各种光刻任务。从工业的角度来看，它是一个可靠的平台，具有极快的周期时间和对齐能力，满足苛刻的迭加要求。该模型为集成电路制造提供了一种通用的方法，非常适合许多行业应用。