二手 ASML PAS 5500 / 300 #293817868 待售

ASML PAS 5500/300是ASML製造的晶圆步进器。它是一个完整的系统，能够在自动化和可靠的过程中在单个晶片上生产精密微电路产品。ASML PAS 5500/300由高级运动传递、舞台、光学和控制系统组成,使其能够提供高度精确的晶圆处理功能。其舞台设计针对高速和高精度进行了优化,可保持刚度和热稳定性,在低振动频率和低热漂移的情况下提供精确的放置精度,从而在多个处理步骤中提供稳定的结果。PAS 5500/300具有机动化的精密级,可实现最高的平面内放置精度和可重复性。该级由3个独立无反冲直线电机系统驱动，实现了快速准确的定位。PAS 5500/300的光学和投影系统具有先进的分辨率和重复性，产生清晰的轮廓和高精度的配准。它还具有从紫外线到远红外光的宽波长范围，提供与多种材料的兼容性。ASML PAS 5500/300还集成了高级控制系统以实现精确可靠的操作。这包括一个精确的控制器和实时、全自动的测量和反馈控制系统，即使在复杂的过程中也能在多个过程中实现高可重复性。最后,ASML PAS 5500/300是一种高度精确的晶片步进器,能够在自动化和可靠的过程中在单个晶片上产生微电路。它具有精确的舞台、投影系统和实时控制系统，以确保在多个过程中具有很高的重复性、准确性和可靠性。