二手 ASML PAS 5500 / 300 #9162889 待售
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ASML PAS 5500/300是一种先进的、高精度的晶片步进器,用于半导体器件製造中,在沉积在每个晶片表面的光刻材料上公开集成电路图样或图片。高精度步进器是利用先进的光刻技术打造的,可以执行面罩投影、面罩薄膜、抗打印等多种成像功能。ASML PAS 5500/300具有高精度的光学系统,可以将图样或图片精确成像到光刻材料上。该系统包括一个先进的投影镜头、一个x-y-z可移动舞台和一个高能光源。投影镜头提供高分辨率的图像,而舞台则允许镜头下方晶圆的精确操纵和定位。照明源是一种高能照明,设计用来投射所需的图样或图片到晶圆上。PAS 5500/300设计用于清洁室环境,以保持非常高的成像精度。为了最大限度地减少污染和瑕疵的风险,步进器被设计成尽量减少晶圆的运动,以使所有元件保持在同一平面内。这样可以确保所需的图桉或图片在光刻材料上精确、精确地曝光。PAS 5500/300是一款极其人性化的机器。计算机控制的软件和硬件集成使用户能够快速轻松地设置映像作业并保持一致的性能。自动对齐机制设计用于在每个周期中精确暴露晶片,而无需手动对齐。步进器可以无限微调,以确保晶圆上曝光的图样或图片的最大精度。此外,步进器还为用户提供各种报告功能,以确保性能和生产产量一致。ASML PAS 5500/300旨在在高精度光刻应用中提供一致、可靠的性能。步进器非常精确,可以精确地显示具有精确分辨率和细节的图桉或图片,同时还具有可扩展性和用户友好性。这使得ASML PAS 5500/300成为半导体器件制造的理想选择。
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