二手 ASML PAS 5500 / 300 #9188016 待售
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已售出
ID: 9188016
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
i-Line stepper, 8"
Software version: 8.8.6
Hardware configuration (Fab):
OCU-Console
Main body
Electronic cabinet
Handler system: WTS
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary units):
TCU
AAR Cabinet
Transfomer
Charcoal filter cabinet
Cymer laser
Equipment configuration:
CPU Type: SPARC5
CM Options:
Lens number: 0107577b
Lens type: 78
Field diameter: 31.1
ARMS / RMS: ARMS
Chuck type: SiC
Athena: Yes
Currently de-installed and warehoused
2000 vintage.
ASML PAS 5500/300是一种用于光刻的高精度晶圆步进器。它是一种光学投影打印机，由高功率光源、精密光学元件和遵循预定运动模式的舞台设备组成。晶片步进器的工作原理是首先用一种称为光敏胶的光敏材料涂覆晶片。然后，在光源和晶圆之间放置一个包含计算机生成模式的大型掩码。光源照亮了反过来投射到晶片上的图桉。然后,精密级系统将晶片相对于掩模移动,使焦点和位置发生微小变化,以确保每个连续的图像都能准确传输。这种精确度对于微小电路元件的对准至关重要，因为晶圆是以连续模式投影的。在ASM ASML PAS 5500/300的情况下,使用高级压电组合运动保证精度。此单元可随时微调舞台机的精确位置和速度,确保最高精度,而无需依赖压力控制器或较大的移动质量。PAS 5500/300除了具有令人印象深刻的精确度外,还采用了专有的双频（DFL）成像方法。这种方法在一个轴上结合了两个完全独立的成像系统，允许增加曝光时间，从而导致更高效的光刻。总之，PAS 5500/300是专为光刻设计的高精度晶圆步进器。ASML以其先进的压电运动和双频成像相结合，是任何需要最高精度的应用的完美选择。
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