二手 ASML PAS 5500 / 300B #9407670 待售
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已售出
ID: 9407670
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Stepper, 8"
Wavelength: 248 nm
Resolution: 150 nm
Overlay: 28 nm
Throughput: 88 WPH
Options included:
SECS
REFL_IMAGE_SENSOR
ARMS
SINGLE_RETICLE_SMIF
PEP_1_PRODUCTIVITY_UPGRADE
PEP_2_PRODUCTIVITY_UPGRADE
RETICLE_ERROR_COMPENSATION
FLATNESS_MODEL
LSQ_DISTO_MODEL
MARK_SENSOR KEY
BATCH_STREAMING
INTENSITY_2
AERIAL
FOCAL_ADJUSTMENT
EXTENDED_EXPOSURE
1997 vintage.
ASML PAS 5500/ 300B是一种先进的晶圆步进器，用于半导体制造。它是一个强大而精确的步进器，配置为执行各种任务，如光刻工艺和先进的缺陷检查。它提供高达每小时500晶片的生产速度，并且可以容纳高达300毫米尺寸的晶片。PAS 5500/ 300B配备了自动晶片处理设备,可确保最大限度地利用空间并加快流程。步进器还配备了先进的反馈系统，使其能够优化每次曝光的剂量和焦点，以提高覆盖性能。该步进器采用高分辨率投影光学系统，利用相移掩模提高分辨率和速度。这台机组最多可减少4倍，精度达147纳米。ASML PAS 5500/ 300B能够从单个设置中进行多次曝光。这样可以提高吞吐量并显着降低每晶圆的成本。它还配备了主动温度控制机和环境光检查工具，确保每次曝光的理想照明条件。此步进器还与最流行的设计系统兼容，如CAD/CAM、SMD和GDS软件。这样可确保快速、平稳的数据传输,并有助于缩短生产时间。PAS 5500/ 300B晶片步进器是寻求高性能、高级步进器资产并具有卓越精度和可靠性的企业的绝佳选择。它是一种功能强大、灵活且经济高效的解决方桉,适用于各种半导体制造应用。
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