二手 ASML PAS 5500 / 300C #144388 待售

ASML PAS 5500/300 C是一种最先进的晶圆步进器,旨在降低制造成本和提高工艺效率。它是一个25 nm+、5步光学投影步进器，最大工艺精度± 0.8 μ m。300 C具有一个大型的基于LCD的用户界面,使设置和操作变得简单。此外,它的全自动对准设备允许用户在每个曝光步骤之前快速、精确地检查任何晶圆方向。300 C采用先进的五掩模模式投影仪系统，能够高速成像大视野。五掩模投影单元由一个主入射光源和四个主入射探测器组成。主入射光源负责产生五个光学图像，用于将大视野成像到晶圆上。此外，这项技术可以比传统的单掩模投影系统更高的速度和精度。此外,300 C还配备了改进的模式匹配和迭加功能,能够快速准确地对齐多个图像。300 C除了图像投影和模式识别外，还采用了专利多级高分辨率成像技术。这项技术使用两个独立的阶段在过程的每个步骤中获取晶圆的高质量成像。第一阶段获取投影模式，第二阶段获取必要的聚焦信息以正确聚焦模式。300 C采用先进的分光光机。该工具使用两个独立的光学系统，允许用户在整个过程中保持最大分辨率和准确性。此外,在所有过程步骤中,分光资产通过保持相同的光照强度来减少扫描时间。300 C采用高精度光束扫描仪,允许以高达5 μ m/秒的速度进行超高精度成像。平面平行激光光学面板在对大视场成像时允许尽可能高的精度。此外，该技术还可用于复杂的图样成像和掩模对准。总体而言,ASML PAS 5500/300C是一种高级晶圆步进器,可提供高精度和高性能。其获得专利的多级成像技术、双光学系统和高精度光束扫描仪使制造商能够通过提高吞吐量和提高成本节约获得更高质量的产量。