二手 ASML PAS 5500 / 300C #293802068 待售

ASML PAS 5500/300C是一种晶圆步进器，允许用户以微处理器和其他集成电路的形式精确地阵列复杂的集成设计。它是一种先进的光刻设备，减少了所需的口罩数量，并允许定义更精确的图桉。ASML PAS 5500/300C采用先进的投影光学系统进行各种曝光。该单元采用了一个强大的200毫米（8英寸）镜头，曲率半径为1050毫米，数值光圈为0.75。这样就能够以0.25微米（0.00001英寸）的分辨率实现极其详细的成像。PAS 5500/300C还具有一种电阻式弹匣机，用于快速、轻松地改变晶圆类型。它能够支撑多种晶圆尺寸，直径从2.5英寸到12英寸。该工具是建立在一个花岗岩基础上的刚度和精确对准，并包括一个油浸扫描仪，以提高成像精度。PAS 5500/300C是一种先进的自动准直资产，用于将基板精确对准成像平面。提高的准确性大大缩短了设置时间,从而降低了成本并提高了客户满意度。除了更高的精度外，ASML PAS 5500/300 C还具有集成的装载机/卸载机模型，允许自动装卸晶片而无需额外的手动干预。这种集成设备简化了生产过程并降低了成本。ASML PAS 5500/300C是一个健壮的系统，非常适合高容量、高精度的光刻应用。其先进的特性如电阻式弹匣式操控、自动准直装置，为客户提供了高效可靠的生产高品质集成电路的方式。