二手 ASML PAS 5500 / 300C #293817864 待售

ASML PAS 5500/300 C晶圆步进器是一种复杂的光刻设备，用于半导体晶圆的阵列。该系统专为生产300毫米晶圆而设计，具有高分辨率扫描仪、可变数值孔径（NA）和一系列照明配置。ASML PAS 5500/300C Stepper能够提供从0.200到0.63的高数值孔径（NA）。该机场尺寸为300 mm，配备了0.1 µm的XY分辨率，非常适合半导体生产工艺。它是专门为大型图样区域成像光刻提供最终的可靠性、准确性和分辨率。PAS 5500/300 C具有高分辨率扫描仪,能够扫描只有3 mm分辨率间隙的相邻字段。扫描仪可以以大约1000毫米/秒的扫描速率运行，使其适合高吞吐量生产。此外，它的光学机器能够容纳各种照明配置，包括Koehler，环形和均匀场。此外，该工具能够使用范围广泛的准分子和二极管泵浦的固态激光光源，包括ArF（氟化氙）激光器。除了先进的成像能力外，PAS 5500/300C Wafer Stepper还拥有一套自动化功能，旨在简化阵列制作过程。它具有自动晶圆处理资产,可以快速交换晶圆和掩码。此外，它还配备了集成过程控制器，允许对模型进行实时控制。最后，该设备采用单片机架构，设计用于图像处理的高速和超低开销。总体而言，ASML PAS 5500/300 C晶片步进器是最先进的半导体晶片阵列化系统之一。其高分辨率扫描仪、可变数值孔径和先进的自动化特性使其成为生产大型图样区域光刻的理想选择。其单片机架构和集成工艺控制器也提供了卓越的性能，使其成为半导体制造商的首选解决方桉。