二手 ASML PAS 5500 / 300C #9138482 待售

ASML PAS 5500/300C是ASML的先进晶圆步进器,ASML是用于制造半导体器件的光刻设备的领先供应商。ASML PAS 5500/300C提供分辨率低至0.10微米的高分辨率光刻技术,使制造商能够生产晶体管和其他功能和电路特别小的微电子设备。PAS 5500/300 C背后的先进技术包括一个深紫外线（DUV）透镜，该透镜在202-193纳米的波长下工作，降低了对其他步进器发生反射的模式效应。系统的光学元件基于由两个反射镜和一个光栅组成的二进制设计,允许步进用户通过轻松调整对准来校正离轴像差。该系统还配备了高性能对准传感器，测量x、y和z方向的位移低至0.1纳米精度，消除了错位误差。PAS 5500/300C是为可靠性和高性能而构建的。每小时可处理600个晶圆，光刻精度为+/-0.5微米。该系统采用Exposis Optical Reduction （XOR）技术,通过将标记尺寸减少50%来提高吞吐量。它还集成了Pulsar TM电子接口,以提高生产效率和准确性。ASML PAS 5500/300C在每次生产运行后都不需要维护,使其成为一个非常经济高效的解决方桉。ASML PAS 5500/300C与市场上现有的半导体工艺工具兼容，允许客户安装和升级到最新的光刻技术。这种晶片步进器设计具有先进的特性，非常适合开发具有复杂特性的芯片。PAS 5500/300 C是制造具有超小型特性的芯片的完美解决方桉,使其成为生产尖端设备的理想工具。