二手 ASML PAS 5500 / 300C #9218126 待售

ASML PAS 5500/300C是一种高性能、晶圆步进/扫描仪设备，由ASML制造。它是为集成电路和其他设备的高端光刻而设计的。ASML PAS 5500/300C提供高分辨率的图像在一个大的视野，具有极好的一致性。PAS 5500/300C设计结构紧凑，底架包括主转盘和真空板。系统的外部结构提供环境保护，光学元件刚性安装以减少振动。光学元件（包括透镜）集成在控制控制台中。它具有具有光学增强单元的四束通道和各种照明配置，具有优良的特征分辨率。为了提供最高分辨率，PAS 5500/300C拥有1.55微米激光光斑大小、1.2微米的光束指向精度以及0.5至7.5微米范围的自动对焦机。该工具具有完全分散的照明资产,可在整个图像字段中提供均匀的曝光。它还利用反向远心光学模型来提高均匀性和可重复性。晶片的运动由计算机控制的步进运动设备控制。该系统对晶片施加的力比常规方法小，提高了均匀性和可重复性。它能够达到高达17.5mm/sec的速度,这对于大多数应用程序都是足够的。该单元可以处理各种晶圆尺寸和多种材料。对于特殊应用程序,它还为较大的视图字段和柱状形状提供了一个选项。此外，还内置了一个板附件，以便对封闭的基板进行直接成像。ASML PAS 5500/300C提供了许多提供高通量性能的功能,如可旋转模式文件、批处理作业队列和模式比较工具。该机还可以创建高精度的图像图样，使其适合生产线应用。总体而言,ASML PAS 5500/300C是满足各种光刻需求的可靠有效的工具。它具有广阔的视野、分辨率和均匀性，适用于广泛的集成电路应用。此外,其基于步进器的运动资产和多重照明配置提供了高通量性能。