二手 ASML PAS 5500 / 350C #9137673 待售

ASML PAS 5500/ 350C是一种创新的晶圆步进设备,用于显微光刻应用。这种步进器具有独特的设计，使它能够在小型结构上产生高质量的平版印刷。ASML PAS 5500/350C配备了专门的光学系统,并使用最先进的技术提供可靠和可重复的过程。该单元定位精度为1微米，孔径尺寸为20微米，采用最新激光技术，具有卓越的曝光性能。PAS 5500/ 350C由350瓦K激光器供电,可实现高分辨率成像和可靠、快速的阵列时间。这种激光器能够以70w/cm2的强度提供高达17nm的特性尺寸。激光波长为6.45微米，最适合曝光微光刻中使用的先进光刻胶。激光的输出功率从350瓦到1.2 kW不等。考绩5500/350C采用高精度对准和聚焦系统。这种步进器有一个专利的低色散物镜成像。物镜以0.55数值光圈（NA）和1.2 NA模式工作。这支持从10nm到1微米的功能大小。ASML PAS 5500/ 350C配备高速扫描头。它以高达5MHz的成像速率扫描大范围的曝光。变焦光学器件为成像提供了最佳的扫描光斑大小,从而确保了卓越的图像质量。ASML PAS 5500/350C由功能强大且易于使用的软件包控制。此步进器具有用户友好的图形界面,能够在多个行业应用程序中脱颖而出。它支持自动模式识别,并提供确保最佳吞吐量性能的过程反馈。PAS 5500/ 350C是一种创新且功能强大的晶圆步进器工具,用于显微光刻应用。它采用了最先进的技术，能够提供高质量、精确的成像和优越的制图时间。这种资产使用户更容易、更快地实现他们所期望的结果。