二手 ASML PAS 5500 / 400 #293817861 待售

ASML PAS 5500/400是一种高精度、5轴自动晶片步进器，专为大批量生产微光刻元件而设计。该步进器利用Koch/Oerlikon专利的扫描技术,利用其内置的快速扫描功能,对半导体晶圆表面进行精确扫描以形成半导体元件的图样。PAS 5500/400具有创新的晶片卡盘设备,可实现精确的晶片处理和对准,并提供对步进器扫描速度和加速度的精确控制。步进器还具有精确、可重复的电机控制功能,可精确引导扫描速度和加速度,并可进行自适应补偿,从而实现一贯精确、可重复的扫描模式。为确保晶片处理和对准稳定,步进器具有先进的自动执行器系统,可确保卡盘与移动台精确对准。ASML PAS 5500/400的光学单元的设计精度非常高,并且具有300MM （12英寸）焦点场大小。它旨在产生具有最大覆盖、俯仰、聚焦和线性精度的亚微米级图桉。它还有一个可调光机，能够精确优化曝光和焦点的可变性。该工具还具有群集级网络功能,允许远程访问资产状态和数据,以及在模型出现故障时对步进器进行远程操作和控制。除此之外,步进器还具有内置诊断功能,使用户能够诊断步进器的组件（如光学和电动机性能）,以确保最佳操作。PAS 5500/400非常适合在生产环境中使用,它提供高精度、可重复和可靠的结果,可以一次又一次地复制。其先进的特性和设计使其适合各种应用，其用户友好的界面和网络功能使其成为理想的选择。