二手 ASML PAS 5500 / 400C #293655011 待售

ASML PAS 5500/ 400C是ASML（应用扫描技术）为半导体工业开发的晶圆步进器。ASML PAS 5500/400 C是一种步骤和重复光刻工具，设计用于生产使用深紫外线照明器的多层集成电路。其焦平面阵列（FPA）技术提供高图像质量和高吞吐量.该机器能够以65 nm x 65 nm的网域大小扫描多达1.2M个眼镜/分钟,同时保持高分辨率。PAS 5500/ 400C设备配有内置扫描头和照明器，以及提供高精度晶圆对准和可追踪控制的接近校正系统（PCS）。内置照明器采用激光二极管泵浦氟化氙（ArF）激光技术进行13.4nm波长曝光。具有高均匀性和峰值亮度的高效多空白源。PAS 5500/400 C使用独特的Hybrid Astigmatism子单元来减少失真，使"Peak Precision Calibation"成为可能。这样可以减少处理器时间并提高扫描图像的保真度。ASML PAS 5500/ 400C还通过同时使用"Dual@@-Pass"和"Double@@-ArF"曝光技术等几个组件,提供具有竞争力的曝光时间和高分辨率。ASML PAS 5500/400 C机器还具有具有高分辨率3D映射选项的高级计量能力。它具有测量图样放置精度、覆盖精度和晶圆覆盖配准等特征的能力。该工具带有一个标准的过程配方库。PAS 5500/ 400C是一种通用、高效的晶圆步进器，适合半导体行业的苛刻要求。它具有很高的图像质量、生产力和分辨率,以及计量能力,非常适合在全天候生产中集成。它具有出色的性价比、可靠的可靠性和较长的使用寿命。PAS 5500/400 C晶圆步进器是广泛产品的完美制造解决方桉。