二手 ASML PAS 5500 / 400C #9049031 待售

ASML PAS 5500/ 400C晶片步进器是一种在半导体制造业中广泛使用的先进微光刻机。它允许精确制造逐层打印到晶片上的集成电路。该设备利用安装在运动控制旋转平台上的光学组件，在晶圆表面上精确成像图样。成像系统由激光步进/扫描仪组成，其光学组件包含投影透镜、光束冷凝器和光源。它还包括一个先进的红外成像传感器，聚焦和对准目标，以及一个标线级。晶片步进器能够将一层又一层的光刻胶成像到晶片上，分辨率为250 nm。光学组件安装座允许一系列的标线,从基本的1倍减小到扩展视场（FOV）的4倍减小。此外，该装置还配备了先进的对准和调平机，可提供高达4nm的位置精度和0.2 mrad的倾斜精度。光学元件可以在XYZ方向定位和控制，最大速度为1.2 m/s。晶圆步进器能够自动检测和自我校正环境因素，如振动和温度波动。它利用先进的闭环热控制工具来维持一个均匀的温度。所有这些都提供了保证高产设备制造所需的精度。此外，ASML PAS 5500/400 C利用高端计算机对资产进行控制和监测，并实施预测模型和质量控制指标。此外，PAS 5500/ 400C配备了一个高精度级，用于晶圆和标线的自动交换。该模型还包括一个特殊的安全单元，以防止与光学组件意外接触。晶片步进器能够处理各种材料和基材，从光掩模和光学到石英晶片和薄膜。它可以进行曝光、蚀刻、清洗、涂层等多种操作。总体而言，PAS 5500/400 C晶圆步进器是一种先进的微光刻设备，为半导体行业提供高精度成像和图样处理能力。它配备了先进的成像光学器件、计算机控制的定位和热控制系统以及晶片到标线的交换单元。这些功能使设备能够识别、补偿和校正环境变化,同时以高精度和可重复性进行必要的处理。