二手 ASML PAS 5500 / 400D #9237241 待售

ASML PAS 5500/ 400D是一种光刻设备，用于生产集成电路、微结构和传感器等微电子设备。它利用一种最先进的光学投影光刻方法在晶圆上创建这些微观尺度的器件。这台机器由一个掩模和一个镜片系统组合到晶片级组成。透镜单元可实现低至几纳米的高分辨率图样。镜头的焦距在0.255数值光圈水平，不同焦距可调节。该镜头机安装在线性扫描阶段。此扫描级沿x-y方向移动掩码和晶片级。最大扫描面积为400mm x 400mm，最高扫描速度为75mm/s。掩模工具可以准确地将图样配准到晶片上。它还允许在晶圆上有一个稳定的成像环境。这是通过在同一舞台上安装多个镜头系统和口罩来实现的。掩模的模式分为两个部分：图像部分和用于将模式注册到晶圆的参考数据。图像部分由客户图样的分布式图像产生的光掩模图样构成。晶片级能够快速、准确地将图样图像从掩模传输到晶片。此阶段由卡盘、视觉单元和负载锁定单元组成。卡盘在曝光过程中使用真空方法将晶片固定到位。视觉单元有两个CCD摄像机，用于对准掩模并监控晶片的装卸。负载锁单元装有一个滤清器，用于清洁空气，以将晶片送入和移出加工室。总之，ASML PAS 6200/400D是一种强大的晶圆步进器，能够快速准确地生产微电子元件。它的透镜资产提供了一个低至几纳米的分辨率，而掩模模型则提供了对晶圆图样的精确配准。晶片级允许将图样图像从掩模精确、快速地传输到晶片。其最先进的设计使其成为生产大批量微电子器件的理想工具。