二手 ASML PAS 5500 / 400D #9296950 待售

ASML PAS 5500/ 400D是一种高度技术性的晶圆步进器,旨在在极高的体积和高通量半导体芯片生产中工作。这种步进器是PAS产品系列的一部分,是一种最先进的光刻设备,具有先进的技术,如最新的ASML设计的PAS5m扫描仪、180 nm分辨率和7nm大的聚焦深度。该系统旨在确保以每小时15,000个晶圆的最大扫描速度获得最佳性能,扫描速率为每秒70nm。这样可最大限度地提高吞吐量并降低每个模具的成本。利用该设备的最小除气能力,它提供了一个干净、精确的过程,产生的缺陷最小。它非常适合生产大型逻辑芯片、嵌入式电路和机器上芯片。线宽能力突出，具有优异的特征均匀性和可重复性。它还集成了先进的表面计量学和精密的测量特征，能够准确的模式配准和优越的迭加结果。该模型有两个光学扫描级，每个级由一对直线电动机驱动，设计和操作以制造具有可重复精度的关键结构。工具中还包括一些高级对齐和过程控制软件包。这允许较短的周期时间和最大的精度。ASML PAS 5500/400D可以通过多种模型自定义选项来针对许多客户需求进行定制。这包括对物镜、干洗/湿洗操作和舞台精度的各种选择。为完成阵容，该型号针对EUV和传统的ArF光源进行了优化。PAS 5500/400 D是一种令人印象深刻的高级步进器,专为高容量、精确的芯片生产而设计。它满足或超过了要求在可靠的微电子生产模式中具有卓越性能和卓越可重复性的半导体制造商的期望。