二手 ASML PAS 5500 / 500 #293814112 待售

ASML PAS 5500/500是用于制造半导体器件的先进晶圆步进工具。它能够为各种半导体元件产生高度精确的微结构。这台机器使用对准和成像设备将紫外线图样暴露在半导体晶圆上。它具有可变对称系统（Variable Symmetry System, VSS），这是一个强大的照明单元，可灵活调整投影图像的形状、视场大小和光掩模类型等因素。该工具有四个光学系统，每个系统包含多个透镜和一个单独的对准机。每个工具都可以独立调整，在不同的条件下提供稳定和可重复的对准精度。该资产还具有低失真投影镜头，以确保精确和一致的平版印刷过程。PAS 5500/500还包括一个高级扫描模型,可确保对各种布局形状（包括超大尺寸字段、子字段和小几何）进行高分辨率成像。它还利用步进器的可重复运动来精确跟踪多个视场。再者，ASML PAS 5500/500配备了可靠的真空夹紧技术，防止晶圆在曝光过程中失真。该工具还包括一个集成的OCR读出设备，能够方便地读取每个晶圆的多个条形码，以确保快速、自动化的处理。总之，PAS 5500/500是一种功能强大、精度高的晶片加工工具，旨在满足现代半导体制造的需求。其先进的高分辨率光学和扫描系统使精密和可重复的光刻生产精细的特征和准确可靠的晶片夹紧整个过程。