二手 ASML PAS 5500 / 500 #293817858 待售

ASML PAS 5500/500是由半导体光刻设备和系统的领先制造商ASML制造的晶圆步进器。用于制造精细的电路层，用于制造集成电路。PAS 5500/500是开发下一代先进半导体技术的关键组成部分,因为它具有市场上所有步进器中最高的分辨率。ASML PAS 5500/500是一种用于将光学元件与X射线对准激光设备集成的工具。这使机器能够达到0.25 μ m的分辨率上限，并且在晶圆表面上有统一的图样。现场监测系统对步进组件的定位极为精确。步进器还采用了最新的光学成像技术，具有高分辨率、多级光刻能力。PAS 5500/500配备了高精度的行星级和强大的二维电机。这样可以实现精确优化的曝光时间以及精确的掩模和晶圆对准。步进器还利用最新的图像锐化单元，可以处理各种曝光任务。ASML PAS 5500/500是一种高度可靠和坚固的机械,使用寿命长达十年。它具有电子控制的机电浸渍机构，可减少操作过程中的振动，不需要润滑。安全方面，PAS 5500/500拥有安全的应急停止机，以及提供严格温湿度控制的综合环保。它的设计还允许步进器和相关组件的高效操作,并且高效操作可降低潜在损坏和洁净室污染的风险。总体而言,ASML PAS 5500/500是一种高效可靠的光刻步进器.它提供了市场上最高的分辨率,包括现场监控和图像锐化技术,以及有效优化的曝光时间。它是安全、坚固和高度可靠的，具有减少振动的机电浸渍机构和紧急停止工具。PAS 5500/500是创建用于先进半导体制造行业的精细电路层的关键组件。