二手 ASML PAS 5500 / 60 #9275776 待售

ASML PAS 5500/60是一种用于制造半导体集成电路的高分辨率晶圆步进器。它旨在通过减少每个晶片的曝光时间来提高精密光刻工艺的效率。步进器的工作原理是将光的图样投射到晶片的表面上，以便蚀刻出所需的形状。ASML PAS 5500/60是一种先进的6轴高分辨率化学投影步进器。步进器配备了最先进的光学和扫描技术,具有广泛的功能尺寸和工艺能力。其几何形状针对高吞吐量和可重复性能进行了优化,从而实现了快速的平版印刷周期而又不牺牲质量。PAS 5500/60步进器具有三镜成像系统，在晶圆表面上产生所需图样的高精度图像。通过将这些图像精确放置在晶片上的指定位置，步进器可以蚀刻出非常精确的特征，如晶体管闸门，呈所需的形状。PAS 5500/60还配备了先进的自动化和控制系统。这样可以确保晶片在步进器内的对齐和定位是牢固和一致的。此外，步进器利用精密的热管理技术，在整个操作过程中保持恒定的温度，从而产生最可靠和准确的光刻工艺。ASML PAS 5500/60适合于半导体晶圆制造中的大批量生产，因为它可以支持广泛的工艺要求。它的高分辨率光学和自动化控制系统确保每次曝光都尽可能准确和干净，从而减少了返工的需要。最后,步进器的广泛曝光范围和加快晶圆扫描速度的选项使其成为工业规模光刻应用的强大且经济高效的选择。