二手 ASML PAS 5500 / 60 #9276126 待售

ASML PAS 5500/60是一种技术先进的晶圆步进设备,能够借助一组镜像透镜制造和组装高精度集成电路阵列（IC）。该系统允许制造对半导体行业至关重要的微小复杂的集成电路。ASML PAS 5500/60的主要部件包括高精度的X、Y、Z级；G型空气轴承步进器；一副可移动的双镜头；自动化聚焦单位；大幅面光阻涂层站；晶圆旋转马达；以及多角度曝光表。整个机器的设计可以适应各种IC制造尺寸和要求。PAS 5500/60采用G型空气轴承步进器，允许晶片在亚微米精度下快速步进。可以容纳各种各样的芯片大小,从NOR大小的芯片到256MB-sized芯片。步进器还设计用于自动调整任何范围的芯片尺寸的方向和焦点设置。PAS 5500/60的镜像镜头为错综复杂的IC提供了最佳分辨率。这样就可以在集成电路上精确放置和定位电路。借助自动对焦工具，镜头能够自我调节，让IC保持完美对焦，以获得更好的性能。ASML PAS 5500/60的光阻涂层站能够提供各种厚度的高品质光阻层，这取决于需要制造的IC的尺寸和复杂性。晶圆旋转电动机还允许在制造和组装过程中精确定位IC。最后，ASML PAS 5500/60的多角度曝光表为IC提供了多个曝光角度，这取决于芯片的设计要求。这可以实现精确和精确的光刻，这对于建造结构复杂的集成电路至关重要。总体而言,PAS 5500/60是一项突破性技术,它在集成电路的生产和组装方面提供了工业级别的性能和精度。这项先进的技术确保了准确可靠的IC生产,从而提高了半导体行业的生产率。