二手 ASML PAS 5500 / 60B #293817855 待售

ASML PAS 5500 / 60B
ID: 293817855
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.54 Resolution: 450 nm DCO:  70 Throughput (WPH): 48.
ASML PAS 5500/ 60B是一种用于半导体芯片生产的光学成像光刻设备。本机是晶圆步进器,是一种用于制造微电子器件的光学成像器件。PAS 5500/ 60B是一种最先进的工具,能够获取电光掩模并将其传输到移动的硅片上。ASML PAS 5500/ 60B具有先进的光刻技术、高精度对准和极快的扫描能力,可用于生产高产芯片设计。晶片步进器具有高性能、扫描就绪的标线级,具有自动识别和标线的二维呈现。它还具有高精度对准系统,可实现高精度图像配准,以及自动对焦单元,可确保光学器件在成像过程中保持正确聚焦。PAS 5500/ 60B能够生产功能尺寸低至0.2微米的芯片设计。它还具有高度的过程可重复性,这允许生产具有几乎相同特性的芯片。该机还拥有高速、突发模式的扫描机,确保芯片图像能够快速准确地创建。ASML PAS 5500/ 60B具有广泛的输入和输出参数,可以连接到各种设备以连接其他成像系统,例如晶圆临界尺寸(CD)测量仪器。该工具还具有双层迭加功能,使双面电路的生产无需使用双面掩蔽。尽管PAS 5500/ 60B是一台相对较小的机器,但它仍具有生产高质量芯片设计所必需的所有高级功能。它是生产复杂集成电路的可靠、经济高效的工具,是半导体芯片制造的诱人选择。
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