二手 ASML PAS 5500 / 700 #293816709 待售

ASML PAS 5500/700系列晶片步进器是当今半导体工业中用于硅晶片精确光刻成像的自动化机器。它利用光学光刻工艺将晶片上的图样暴露出来，创造出制造集成电路、硅芯片和其他半导体所必需的微电路。这种步进器的主要特点之一是它的高数值孔径和曝光灵活性。其NA或0.7的数值孔径可实现高分辨率成像和更精细的图样。这是通过使用组合的照明器和镜子设备来实现的，这种组合使各种光学透镜能够对焦和放大曝光模式。它还具有一个可自定义为4、5、6和8英寸大小的曝光字段。这种晶片步进器配备了两个物镜-一个衰减相移面罩透镜和一个具有双区域照明系统的复合物镜。衰减相移掩模透镜利用紫外线在晶圆表面上制作图样，而双区照明单元的复合物镜则在控制像差的同时放大这些图样。这种布置使步进器能够在模式保真度和成像深度方面提供增强的性能。除了成像性能外,PAS 5500/700系列晶圆步进器还具有先进的多轴运动控制和调谐机。此工具由控制器、编码器和电机驱动程序组成,使步进器能够提供精确的跟踪运动和定位。步进器具有用于晶圆运动和精确定位的XY级，以及用于精细增量聚焦的高级语音线圈传感器。在安全性和可靠性方面，这款晶圆步进器配备了TEMIR光束停止和软管停止安全资产、风扇防护、消防系统、温度传感器、门磁铁等安全装置等多项功能。最后，步进器经过CE认证，在设计、性能和工业操作方面都符合所有安全规定。总体而言,ASML PAS 5500/700系列晶圆步进器提供了适用于要求最苛刻的半导体工艺的最佳光刻成像性能。其高数值孔径、曝光灵活性和先进的运动控制模型，加上其安全性和可靠性特点，使其成为集成电路、硅芯片和其他半导体制造商的理想选择。