二手 ASML PAS 5500 / 700 #9046362 待售
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ID: 9046362
晶圆大小: 3"-8"
Stepper / scanner, 0.15um DUV, 3"-8"
Fully automated wafer handling system
2" with holders capable.
ASML PAS 5500/700是用于制造半导体元件的先进晶圆步进设备。该机器由专业制造商ASML开发,旨在为设备制造商提供一种准确制造和测试部件的高效可靠的方法。该工具利用最先进的光学和电子设备来提供生产最优质半导体元件所需的精度和能力。该系统具有获得专利的5轴运动设计,包括两轴扫描级、两轴定位级和直接驱动电动机。它允许从运动阶段中移除非关键元件,如平衡重量,从而提供更高的准确度和稳定性,并提高运行速度。另外,整个装置安装在空气轴承上,以提高稳定性和减振特性。PAS 5500/700融合了一系列软件和成像功能,包括增强的3D图像分析和处理、高性能的自动镜头校准机以及先进的缺陷分析算法,以确保更好的质量控制。它还具有全面的安全功能和监控功能,可提供全面的数据记录和审查,以进行深入、实时的流程分析。该工具还包括自动工艺校正,以消除对晶片的任何外部干扰或影响。ASML PAS 5500/700是一种高度精确的仪器,具有用户友好的控制功能。它提供集成的热控制,使资产保持在稳定的温度范围内,从而实现精确的光学和电子性能。这一模式的运作是对其所有子系统进行全面的自我监控,包括实时后退和升级能力。实时遥控器还为操作员提供了广泛的可视化、数据收集和诊断工具,以进行有效的监测和维护。该设备利用技术为设备制造商提供最佳性能和产量。借助PAS 5500/700,半导体元件制造商可以放心地拥有可靠、准确和高效的系统。
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