二手 ASML PAS 5500 / 700B #293817853 待售

ASML PAS 5500/ 700B晶片步进器是一种用于半导体器件制造的高精度光刻工具。PAS 5500/ 700B结合了高端光学、设计功能和专用软件,可以在分辨率低至0.33微米的硅晶片上精确绘制设计层图案。该设备基于行业标准的步进重复对齐和曝光光刻工艺。光柱采用交替光圈继电器光学技术，最大限度地提高图像分辨率，同时最大限度地减少离轴光效应造成的失真。该系统配有4通道段（4Cs）单元，使晶圆上不同焦点位置的特征能够曝光。这使得机器可以更精确地聚焦光线，从而在倾斜方向上获得更高的分辨率。扫描仪马达是刀具中的主要部件，非常先进，精确控制晶圆的X-Y线性运动。在控制振动和抖动的同时，具有快速曝光的高速度和精确曝光的高精度。步进器还包括照明资产、标线级、晶片卡盘、成像透镜和图像控制单元等几个子系统组件。照明模型包含一组各自的显示灯、冷凝器和狭缝灯。使用专门的软件，这些组件用于提供设计层的精确曝光。标线级是一个6度自由度级，用于在正确方向和对准上移动掩模，并在焦平面上提升分辨率。晶片卡盘负责保持晶片表面的焦点和平坦度，以确保发射时光的精确分布。成像透镜是用专门的材料构建的，以便将图像传输到掩模上。它包含一个像差校正设备，以确保低失真。最后，图像控制单元（ICU）负责控制整体曝光时间和条件，以确保晶圆的准确曝光。所有这些组件协同工作以确保高分辨率图像在晶圆上的重复曝光。凭借其高端技术,ASML PAS 5500/ 700B非常适合芯片制造商生产高性能组件。