二手 ASML PAS 5500 / 700D #293655013 待售

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ID: 293655013
i-Line scanner Chamber.
ASML PAS 5500/ 700D是一种先进的晶圆步进器,用于半导体工业生产集成电路(IC)。它在芯片上提供非常精细和准确的功能,而不会影响吞吐量。PAS 5500/ 700D集成了CAD到掩码发生器、投影光学和集成扫描成像功能,可实现最快的半导体光刻工艺。它能够用图样扫描整个标线场,然后将其投影到晶圆上,以生成具有最高可实现精度和细节的IC。ASML PAS 5500/ 700D的核心是先进的ASML投影光学元件,它能够提供14纳米的光斑尺寸。这样可以准确生成最小的特征大小,通常仅为节点数的十分之一。模式发生器还利用了一些创新技术,如非线性遮罩和高级照明选项,以确保最终产品的特征尺寸尽可能准确。此外,PAS 5500/ 700D带有自动标线加载器,可快速更改标线并缩短周期时间。此外,ASML PAS 5500/ 700D采用专用涂层系统,通过同时涂抹湿涂层和干涂层在晶片上提供最高质量的涂层。此外,它还集成了先进的冷却系统,使机器在最佳温度下运行,从而获得最佳性能。总体而言,PAS 5500/ 700D是一种功能强大的高性能晶圆步进器,可提供无与伦比的精度和吞吐量。其先进的特性和技术使其成为任何必须生产精细准确特性的半导体制造工艺的理想选择。
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