二手 ASML PAS 5500 / 750 #293826857 待售

ASML PAS 5500 / 750
ID: 293826857
Deep Ultraviolet (DUV) scanner.
ASML PAS 5500/750是一种步进扫描设备,设计用于先进的光刻操作。该系统能够为生产和工业环境提供解决方桉,以及在需要专门制图技术的情况下提供研发应用。它是一个高精度、高精度、多场成像单元。PAS 5500/750具有高分辨率成像镜头和高稳定性、低漂移扫描控制器。其先进的设计使得曝光时间非常快,吞吐量也很高。它配备了精确的级对准机,配有自动对焦、晶圆自动装载机,以及先进的晶圆监控工具,使操作员能够轻松准确地定位晶圆并控制扫描速度。步进和扫描资产还附带了一系列用于模型和工具控制的特殊软件,包括用于监测和控制曝光设备参数的ETS性能软件。该软件允许操作员根据特定的生产需求定制设置,并对系统性能进行编程和监控,以实现准确可靠的光刻操作。ASML PAS 5500/750还提供了灵活性和成本效益。它可以很容易地适应不同的晶圆尺寸,并且凭借其先进的设计,该单元可以在一系列参数上提供一致的成像过程。这种步进和扫描机器非常适合那些需要高度控制晶圆曝光率和曝光量水平的应用。总体而言,PAS 5500/750是一种先进的成像工具,能够提供高效、高通量的光刻操作。它的精确级和对准资产使操作员能够精确定位晶片并控制扫描速度。由于其快速的曝光时间和灵活的设计,这种模型非常适合那些寻求可靠和经济高效的光刻解决方桉的人。
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