二手 ASML PAS 5500 / 750E #293809107 待售

ASML PAS 5500/ 750E是用于生产集成电路的晶圆步进器（又称光刻机）。它能够产生高达75微米分辨率的物体--以高精度和高速度创建接线和晶体管。PAS 5500/ 750E通过一系列步骤实现了这一点。首先，晶片被放置在舞台上，并保持在与真空的地方。然后将此级水平或垂直对齐机器的光学元件。舞台正确定位后,ASML PAS 5500/750E的弧形标线或蒙版与晶片对齐。掩模的弧形精确地遵循晶片的轮廓，使其能够有效地分离晶体管，并将图样从掩模转移到晶片上。PAS 5500/ 750E然后使用步进设备使用电动级和反射照明系统将掩模精确地放置到晶片上。此阶段可以沿两个方向移动：theta轴旋转蒙版,而z轴允许蒙版上下移动以使不同的层变形。ASML PAS 5500/ 750E还有一个紫外线激光照明器，它发出紫外线使晶片暴露。这种照明然后通过弧形遮罩进行过滤，只允许某些波长通过。此过程重复数次，将芯片的每一层曝光，以创建所需的电路。最后,PAS 5500/ 750E使用高级软件来控制整个单元,并确保准确打印图层。如果出现异常,此软件还有助于调试打印错误。总体而言，ASML PAS 5500/ 750E可以通过其口罩、步进机和UV激光照明器的组合，创造出高度精确和快速的集成电路。这使得它成为芯片制造商的强大和必不可少的工具，并确保高质量产品的生产。