二手 ASML PAS 5500 / 750E #293812100 待售

ASML PAS 5500/ 750E是专为满足半导体生产需求和挑战而设计的高性能晶圆步进器。它是一种大型浸入式投影步进器，经过优化，可用于极精确、高分辨率的光刻和晶圆迭加应用。该设备能够生产高质量的感光模具，用于制造高性能、高产量和可靠的半导体器件。PAS 5500/ 750E由光学子系统、花岗岩基座、双轴平移级和电机支撑组成。其投影光学系统由无穷大校正、消色差的高数值光圈、折射反射物镜组成，最大场为1.2mm。光学子系统还配备了激光干涉仪和远心分束器。此外,步进器还配备了10倍摄像头和1.5mm音高分辨率的数字步进台。提供结构稳定性和减振功能的花岗岩基座，是该装置严密的过程控制的组成部分。平移级包含反馈线性电动机，由数字运动控制机驱动，可重复性为0.5µm，正交精度为5µm。电机驱动由ASML电子模块控制，包含一个实时变换电路，用于精确控制两个运动轴。电机支架的最大电流处理能力为5.5A.步进器的控制工具基于Linux类型的操作资产，并配有晶圆识别模型（WRS）、可编程模式级别、场移、掩码滥用保护和二次接触。WRS识别晶圆大小和厚度,并相应调整阵列生成设置。总体而言,ASML PAS 5500/ 750E是高端光刻应用的理想解决方桉,因为它具有先进的光学、精确的运动控制和其他功能,使其具有高度准确、可靠和高效的性能。