二手 ASML PAS 5500 / 750E #293829886 待售

ASML PAS 5500/ 750E是一种晶圆步进器，用于在半导体生产过程中给出高精度的光刻。它具有实现广泛分辨率的能力，使得它在IC（集成电路）生产的不同阶段成为可行的选择。这种步进器的特点是能够产生28nm的线宽和最小的0.1微米分辨率。PAS 5500/ 750E利用基于X和Y坐标的双轴结构来产生切入半导体表面的步进模式。这种设备允许使用涂层和分层工艺，使得制图和蚀刻工艺都可以在一台机器中进行。ASML PAS 5500/ 750E的其他优点包括能够将分辨率逐步提高到0.1微米,以及它还可以适应微级晶圆布局校正和调整。PAS 5500/ 750E包括一个248nm的I-Soource、一个激光光学对准系统、激光扫描仪组件和一个投影单元。I-Source是一种大功率激光器，适用于软接触和硬接触光刻模式。借助激光扫描仪的照明和扫描镜，可以实现高均匀度的晶圆拍摄。这些激光扫描仪和镜子构成了光刻过程的组成部分。投影机直接向晶片发送成像图样，每次拍摄都必须进行单独曝光。该工具允许中断成像作业以添加额外的镜头,并允许随着图层位置的变化而更改镜头的数量。这同样适用于单层和多层图桉，允许一个紧凑的光刻堆栈。ASML PAS 5500/ 750E还配备了高级干涉仪，有助于保持激光扫描中镜子的对准。这样可以确保以最好的经济效果完成尽可能最好的成像。此外，该资产还配备了一种高性能的电动机模型，电动机设备的响应可以达到0.2ms，允许高度精确和复杂的模式被写入晶圆。该系统还具有双模步进器，这意味着可以采用二维视觉缝合或一维扫描模式来快速准确地定位模式中的任何错误或修改。所有这些特性的结合使PAS 5500/ 750E成为高精度光刻的可靠且经济的选择。