二手 ASML PAS 5500 / 750F #293655012 待售

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ID: 293655012
DUV Stepper Chamber.
ASML PAS 5500/ 750F是用于创建半导体器件的高端照相步进器。该设备是一种光刻工具,为广泛的晶圆成像应用提供高分辨率、快速吞吐量和准确性。PAS 5500/ 750F的7nm分辨率是半导体行业生产高质量、高精度布局的理想选择。步进器配备了几种先进的技术,例如提供精确而强大成像的ArF准分子激光源。这种高度精确的激光源可以将图像投射到像素大小低至7 nm的晶片上。ASML PAS 5500/ 750F还配备了紫外线(UV)相机和多域对齐器,这两者都为图样制作提供了极好的精度。系统被编程为使用各种层类型,如浸入介质、抵抗和掩蔽层。另外,这种步进器还能够使用不同的光波长来绘制各种层的图样。其中包括ArF(193nm)、KrF(248nm)和I-line(365nm)。ASML的高技能工程师使用PAS 5500/750F'开发定制解决方桉。该机器装有一个多喷嘴加载单元和基于卡带的晶圆处理机制,以实现快速晶圆传输和增加晶圆容量。机器还带有直观的用户界面,简化步进器的操作,有助于确保半导体步长和重复模式的一致性。ASML PAS 5500/ 750F还具有高公差线性设备,非常适合高精度对准和迭加测量。此外,强大的成像控制程序在后台运行,允许晶圆表面和其他参数的连续控制。此功能有助于提高最终产品的整体质量,并确保始终满足要求苛刻的最终用户的期望。总体而言,PAS 5500/ 750F是一种功能强大、先进且高度可靠的晶圆步进器。它为用户提供了更高的吞吐量、准确性以及精确的图像和图样放置-其成像机的高分辨率,加上其先进的成像控制,使其能够以最高的精度创建和完善半导体器件。
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