二手 ASML PAS 5500 / 80 #9188719 待售

ASML PAS 5500/80焦点装配步进器是一种先进的半导体制造晶圆步进器,可提高制造商的特征尺寸分辨率和精度。它是一个高速、高精度的晶圆处理单元，与晶圆、掩模、基板等各种成像元件兼容。这种晶片步进器常见于集成电路的生产和开发中，利用高分辨率投影光刻技术，以高速和精确的方式在硅晶片上获取图像。步进器使用精密的空气轴承设备和精密的计算机控制，使其能够快速准确地将所需的图样扫描到晶片上。该设备由小型免维护电动机供电,冷却风扇在过程中通过晶片提供冷却空气。该装置配有微调光源和具有五轴级的高分辨率投影系统。利用先进的传感器技术，精确测量晶片的位置，监测晶片在所有三个方向上的位置。步进器还可以与OPC模式一起使用，以实现更小的特征和更严格的控制精度特征大小。其他功能包括自动端塞和集成的电气隔离单元,以及易于操作的脉冲液晶显示器。ASML PAS 5500/80能够处理直径达二十四英寸的晶片，可以处理重达20公斤的物体。它拥有令人印象深刻的最高扫描速度,每秒高达7500步,最小尺寸分辨率为0.5微米,允许在处理后的表面上提供复杂而细微的细节。步进器的设计目的是尽量减少颗粒污染，并提供完整的洁净室兼容性。主动振动控制与高效的电气体系结构相结合,也增强了设备的功能。它旨在最大程度地减少功耗,同时在延长的周期内提供一致、可靠的性能。PAS5500/80是一种功能极其强大的晶圆步进器,为制造商提供制造精度极高的高精度零件所必需的工具和能力。它重量轻、尺寸紧凑、设计高效，在工业环境下都是有利的。该机器的设计使高质量的生产与最小的机器停机时间，从而产生一个成本效益和可靠的半导体生产过程。